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次世代半導体製造装置の生産を準備=ASML

半導体製造装置で欧州最大手のASMLホールディング(オランダ)は、半導体製造に使用する極端紫外線(EUV)露光装置「高NA EUV」を本社で展示し、装置の生産準備をしていることを明らかにした。「高NA EUV」の価格は3億5,000万ドル。ロイター通信が2月9日に伝えた。 「高NA EUV」はチップ

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