次世代半導体製造装置の生産を準備＝ＡＳＭＬ
半導体製造装置で欧州最大手のＡＳＭＬホールディング（オランダ）は、半導体製造に使用する極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置「高ＮＡ ＥＵＶ」を本社で展示し、装置の生産準備をしていることを明らかにした。「高ＮＡ ＥＵＶ」の価格は３億5,000万ドル。ロイター通信が２月９日に伝えた。
「高ＮＡ ＥＵＶ」はチップ
半導体
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