ＤＮＰ、ラピダスに出資＝次世代半導体の量産支援
大日本印刷（ＤＮＰ）は、次世代半導体の製造技術を手がけるラピダス（東京都千代田区）に出資したと発表した。極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィー技術を用いた半導体の開発と量産体制の構築支援が目的で、特に２ナノメートル世代以降の生産効率向上を目指す。
ＥＵＶリソグラフィーにより、従来より微細なパターンをウエ
半導体
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